精度为±3.0％F.S.的流量传感器 |
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日本神视（SUNX）公司推出了显示一体型数字流量传感器“FM-200”系列。采用了新开发的整流机构，配备了尺寸为3.0×3.5mm的小型硅传感器芯片。由此降低了热容量，实现了±3.0％F.S.的精度。
以夹着加热器的方式设置两个温度传感器，利用这两个温度传感器检测到的温度分布，这样便可实现顺向、逆向的双向检测。由于可用一个温度传感器进行双向检测，因此另一个温度传感器可用于检测给/排气。例如，可通过一个温度传感器确认芯片元件的吸附和打开情况。
机身上配备的显示屏设有副屏，可显示设定条件。另外，通过显示红绿两种颜色，便于了解传感器的工作状态。
此外，还配备了管理空气耗量的累计输出模式。当气体流量达到事先设定的累计值时，便可对输出实施导通/截止操作，可用于管理电子元件的氮气封入量。如果使流量传感器根据不同的规定累计值输出脉冲，便可了解到单位时间的空气消耗量，因此有助于制定成本管理和节能对策
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| 责任编辑： 整理时间：2008-5-18 16:20:47 |
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